藍鯨晶圓用機械臂式全自動超聲波清洗機，主要由：機械傳動系統、超聲波系統、加熱系統、烘干系統、給排水系統和電氣控制系統等6部分組成，一般采用PLC進行控制，操作簡便，可通過修改程序方便地調整設置參數及工藝流程在線監視系統的工作狀態，可自動完成工件的粗洗、噴淋、噴流、熱浸、漂洗、鼓泡、烘干等工藝，大大節約人力，提高效率。

本設備為水劑清洗機，采用懸掛輸送，由多位功能槽組成一條連續清洗生產線，去除工件上的油污、灰塵、廢屑等附著物，得到潔凈工件，使工件達到所規定的工藝要求。本設備是一臺精密清洗設備，它是使用水基清洗劑對需要清洗的工件進行的精密清洗。據清洗工藝要求，可用清水配制低堿性清洗液。使水活化（皂化），減小水的表面漲力和提高其活化能力，從而對附在工件表面的油污、灰塵、廢屑等進行濕潤，滲透到工件表面而被清洗掉，得到滿意的洗凈度。